氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

　　依照检漏的过程中的示漏乙炔气存贮职位与被检件的相关不一样的，都可以将氦质谱检漏法分成涡流法、压缩空气法、涡流负压法和背压法，下列涡流技术设备网(crazyaunt.cn)各分为汇总了了这五种氦质谱检漏法的加测原里、优劣势及加测的的标准。

真空法氦质谱检漏

　　采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

　　高压气法的长处是在线检测迅敏更高，可以小于准确定位，能做到大储槽或繁复构成新产品的检漏。 　　涡流法的短处是需要推动一层结压差的漏率的检测，并不能最准反应带压被检货品的真是氯气泄露状况。

　　真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

正压法氦质谱检漏

　　采取负压法检漏时，需对被检货品的内部密封带室通入要高于一位时尚各种压力的氦气，当被检货品外观有漏孔时，氦气便会通孔漏孔进被检外外观的附进时尚欣赏这自然环境中，再采取吸枪的手段探测被检货品附进时尚欣赏这自然环境中的氦气盐浓度值增加量，故而满足被检货品氯气泄露估测。依据分类整理氦气手段的不一，又是应该将负压法分类负压吸枪法和负压叠加法。这当中负压吸枪法采取检漏仪吸枪对被检货品外外观进行打印机扫描探查，是应该满足漏孔的精密分析; 负压叠加法采取一 定密闭式功用的氦罩将被检货品全部都罩上去，采取检漏仪吸枪估测一些 用时段之前之后的氦罩内氦气盐浓度值不同量，满足被检货品总漏率的精密估测。 　　压缩空气法的特征是否应该辅助软件的进口真空控制系统，行准确度位置，确保一点操作的压力下的在线检测。 　　送风机法的问题是检查迅敏度较低，检查最后不明确度大，受检测的区域條件作用大。 　　+压法的探测标准的最重点有QJ3089-1999《氦质谱+压检漏措施》、QJ2862-1996《气压不锈钢罐体管道焊接氦质谱吸枪罩盒检漏检测措施》，最重点操作于大体积低压封闭空间不锈钢罐体类产品的检漏，如低压氦气瓶、机门检漏仪等。

真空压力法氦质谱检漏

　　用负压压强法检漏时，是需要将被检新护肤品全局放置负压封严车间内，负压封严室与辅助的排空机系统和检漏仪相邻，被检新护肤品的打气接口协议经过接入地埋管生成负压封严室后，再与氦供气相邻，当被检新护肤品表明有漏孔时，氦气就能经过漏孔迈入负压封严室，再迈入氦质谱检漏仪，进而构建被检新护肤品总漏率的自动测量。 　　真空体负压法的优点有哪些是监测机灵度不高，能构建一切业务负压的漏率监测，体现被检件的最真实用户名感觉。 　　高压气重压法的弱项是检漏体统缜密，耍求会按照被检的产品的溶量和形态的设计制作高压气封严胶室。这耍求讲解在检漏的过程 耍求确保冲气通风热力管道usb接口方式无泄露，又或者进行特定的设备构造的设计制作将所有的冲气通风热力管道接入usb接口方式放到在高压气封严胶户外部。

　　真空压力法的检测标准有GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。

背压法氦质谱检漏

　　主要采用背压法检漏时，1将被检的企业物料置入高电压的氦气室中，浸过数半小时或数天，一旦被检的企业物料外表有漏孔，氦气便顺利顺利经过漏孔压入被检的企业物料里面封严腔中，使里面封严腔中氦分压力差提高。然后呢弄出来被检的企业物料，将外表的残渣氦气吹除后再将被检的企业物料放在与检漏仪连到的进口正空溶器内，被检的企业物料里面封严腔内的氦气会顺利顺利经过漏孔流出到进口正空溶器，再进人氦质谱检漏仪，若想达到被检的企业物料总漏率测定方法。检漏仪已给出的漏率数值测定方法漏率，要求顺利顺利经过换算测算公式测算出被检的企业物料的等效标准规定漏率。 　　背压法的优越性是验测灵巧更高，能构建大型密封性玻璃容器货品的用户名验测，能够 实施批量化化验测。  　　背压法的不足之处就是能开始中小型填料密封带干净的器皿的漏，这样主要是因为填料密封带腔体容量变小，使得后加压周期太短。还有就是，每台测试漏率都相对应两位等效标准的漏率，在细检来完成后还所需运用以外的别的最简单的方法开始粗检，查出大漏的将会。 　　背压法的检漏细则基本有QJ3212-2005《氦质谱背压检漏形式》、GJB360A-1996《光电及电力设备光电器材实验室检测形式形式112 密封盖实验室检测》，基本APP于多种多样光电元器材产品设备检漏。