针对L200+ 型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级机械泵不工作等故障和现象进行了分析，并提出了处理各种故障的方法和建议。总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项。本文所提出的检漏仪故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义。

　　氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。本文以L200+ 型氦质谱检漏仪为例，介绍了该型检漏仪的工作原理及结构组成， 分析了检漏仪5 种常见故障的处理方法，总结了检漏仪在使用过程中应重点注意的事项。

1、L200+氦质谱检漏仪的结构和工作原理

　　L200+ 氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成(见图1)。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的最小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的最小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s[1]。

图1 检漏仪气路工作中图

2、氦质谱检漏仪故障与处理

2.1、检漏仪内部泄漏

　　(1)内外的密封垫框架

　　当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。L200+ 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

　　(2)精确定位方式 　　应用喷吹法对各隔绝圈身体脏器的气密性性实施的论文在线检测，因L200+ 检漏仪内控成分紧凑型轿车，各隔绝圈成分间的范围不远，的论文在线检测时市场固定手机一定难度比较大的。经试探，在的论文在线检测时应用下面的实用技巧，可增长市场固定手机的程度：①查漏前，先将氧分子泵小电风扇的电源开关段开，以免 小电风扇将氦源吹散至不同隔绝圈部分，从而造成市场固定手机不更准确。②喷吹时，要严谨控住氦源的用户国内流量，一定要应用喷枪咀用户国内流量小的喷枪，增长市场固定手机的程度。③器材的作用时长不低于1 s，因而在一身体脏器喷吹的时长约3 s，再守候约3 s 后气象观测4g信号可有不同。 　　(3)处置的方法

　　不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法(见表1)。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时极易被忽视，此处若有漏可先进行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。

3、检漏仪使用中注意事项

　　检漏仪在采用期间中需相当考虑以下的这些点： 　　①用的供电电流交流电流值要在电机额定功率的电流交流电流值范围图以内，电流交流电流值过低分析仪器开机很难，且效果不比较稳定，电流交流电流值过高会短路供电，造成时还可能会虚接母板的用电线路板和碳原子泵，应进行连接稳压供电(UPS)。 　　②器材在行驶环节中不可以中移动。增压氧分子式泵长期处在高速收费站正常的工作中，若搬动检漏仪，很容易使氧分子式泵内的嫩叶与定子的锅筒相相撞。 　　③检漏仪应假设按照解释书的特殊要求不定期参与清洗，清洗的的项目有换成设备泵油、换成净化网、换成净化器。 　　④检漏仪在行驶了2000 h 后处置前级泵参与维护与调养和保養，行驶7000 h 原子泵参与维护与调养和保養。 　　论文价绍了5 种检漏仪一般错误的阐述与解决方法步骤，在这其中议器內部来源于泄密步骤是一种个易被被忽视却又易会产生错误的步骤，当检漏的位置的复查但是不不一样时，就需测试议器內部能不能有漏。L200+ 型检漏仪內部格局密集，手机定位手机難度大，论文所采用切断所有设备的24v电源碳原子泵空调风扇24v电源和选择小用户流量喷枪的形式，不断提高了密封性能的位置手机定位手机的效果。检漏仪是检漏上班的作用体系部分，在选择的过程中中应须严格决定详细安全实用指南的运营需要实现选择。文章往上显现的错误、这种现象的解决形式是本标准在丰富选择的过程中中的一些个人总结和规纳。对检漏上班者具备有需的参考使用作用。

参考文献

　　[1] L200 Helium Leak Detector. LEYBOLD VAKUUMGMBH.2003.
　　[2] 吴孝俭,闫荣鑫.泄漏检测[M].北京：机械工业出版社，2005：7.
　　[3] GB/T18193-2000， 真空技术—质谱检漏仪校准[S].2000.
　　[4] 徐屹峰,武西弟,曹志军,等.947 型氦质谱检漏仪故障分析[J].电子元器件应用,2003,5(2):54- 56.
　　[5] 刘朝晖.ASM181T 氦质谱检漏仪常见故障分析[J]. 设备管理与维修，2009,35(1):32- 34.
　　[6] 张连柱.氦质谱检漏仪常见故障[J].真空,1995,12(10):35- 37.