密封器件压氦和预充氦细检漏候检环境氦分压的影响

薛大同¹ 肖祥正¹ 王庚林²

(1.宝鸡环境空间枝术热学研究分析所真空系统低溫枝术与热学欧洲国家级实验报告室关键性实验报告室;2. 济南市科通电子技术继家电总厂)

　　摘要：密封器件的氦质谱细检漏技术分压氦法(即背压法)和预充氦法两种。地球干洁大气中含有少量氦气;压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。本文分别推导和分析了压氦法候检环境大气中氦分压的影响和预充氦法地球干洁大气中氦分压的影响。

　　对于压氦法，在任务允许的最大标准漏率不超过1.4Pa×cm3/s，最小测量漏率小到1*10^-6 Pa×cm³/s，候检时间不超过最长候检时间，密封器件的内腔有效容积不超过10² cm³ 量级的情况下，不需要考虑地球干洁大气中氦分压的影响，但是如果候检环境大气中氦分压显著超过地球干洁大气中的氦分压，就可能加大测量漏率值。等效标准漏率越小，且密封器件内腔的有效容积越大，误差会越大。所以，不仅氦质谱检漏仪房间应有通风设备，与压氦设备应放置于不同房间，以防止氦气泄漏影响，而且，压氦结束后，被检器件就应尽快离开压氦设备所在的房间。

　　相对 预充氦法： 　　(1)世界干洁十足中的氦分压不问题在线测量漏率～等效的标准漏率问题的身材曲线巨大值点和巨大值，全部候检日期的2、显著特点点变了；

　　(2)地球干洁大气中的氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值，且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm³ 时，极小值点仍处于分子流范围，不能靠粗检法鉴别，所以需辅以压氦法复检，才能防止漏检；

　　(3)星球干洁豪迈中的氦分压还可以使候检时期的最共同点点变得，即不注意星球干洁豪迈中氦分压不良影响的候检时期最共同点点策略值偏小，进而提升了是需要配合压氦法检验的条件，即判据更严厉而并不是更肥大，之所以不得能会造成漏检； 　　(4)月球干洁臭氧层中的氦分压不不良影响“用压氦法复查时，为到本征精确測量漏率，只需在显示信息的精确測量漏率中调增预充氦法得到的精确測量漏率便可”的预期结果。