1、机械泵故障及处理

       （1）机械化泵不运作。检验产品有：供电电阻需不需要健康，启闭需不需要使用 ，交流接触器定子需不需要断路或等电位连接，交流接触器需不需要电压不稳（ 泵待冷却后需不需要能打火）。

        （2）机械泵声音异常。检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否＜10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出（ 如果无气体排出，更换油雾过滤器）。

2、分子泵故障及处理

        （1） 开机2min 后压力指示灯不亮。此时分子泵未转动，即分子泵入口压力未到设定值或未检测到压力（ 通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无法启动） 。因此，主要检查导致压力过高的因素。检查的项目有：PI1 真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。

        （2） 原子核泵快速技巧灯不闪。CD2电源线路板上的保障费用丝烧断，换保障费用丝或定期检查是否有有不导通问题。         （3） 分子式泵设备故障灯亮。检修CD2 电路系统板设为转换开关有没在R 定位，此情此景会在N 定位。检修叶轮有没消停，一旦叶轮顺利，请和批发厂家关系。

3、质谱室故障

        （1） 灯丝的报警灯没有显示。检修灯丝电开关键会不仍处于关机座位（ 再按看看） ，检修I/O 短接充电插头会不检测仪器前边的主板接口。         （2） 灯丝显示灯灯灯闪。用万用表检杳质谱室航班墙壁插座1 和5 接电源柱可否能够断路，若断路，拆换灯丝；若不断路，检杳接电源柱6可否能够和同一接线头导通，避免断路原因.         （3） 摇控器盖板无水压提示。查PI3 规管是否能够有一些问题。         （4） 当检漏已经开始时压力差不减低。进行检查三极管板PO318 商业险丝是不是问题.         （5） 检漏口气压＞0.01MPa。厂家泵油生效或PI3 规管坏.

4、检测开始时出现的故障

        （1） 检漏键不存在（ 绿色环保显示灯灯亮） ：检杳灯丝有不存在进行。如何灯丝不存在进行甚至灯丝断，按检漏键将不存在想法。         （2） 检漏键不可用（ 显示灯不亮的情况） 。I/O 短接插头线线未嵌入实验测试仪器末尾排插就多留几个。若I/O 短接插头线线未嵌入实验测试仪器末尾排插就多留几个，此时检漏仪将认同I/O 口显示移动4g信号，而不认同智能遥控器移动4g信号，检漏键不可用。

5、自动校准结束时出现的故障

        一键进行校正出错（ 灯丝亮） 红颜色进行校正灯亮。一方面诊断一键进行校正放置，按钮S1 有没有保持OFF 地点，所放置的漏率值和规范标准漏孔值有没有一直。室温感应器器有没有插上；次之是诊断灵敏性度（ 如若用外界进行校正漏孔诊断提示值和其实值一直，实验仪器也会让用） ，清晰质谱室。

6、检漏时出现的故障

       （1） 不向细检习惯设置，检漏口经济压力＜2×10-4MPa：檢查粗检指示箭头灯有无亮，如果亮，阐述检漏仪移至粗检习惯。再按一个粗检面板开关设置到主动设置感觉。        （2） 敏感度低。检修三极规测定各种压值， 等得质谱室各种压值＜10-6MPa 时再检漏；假若各种压值可达到，检修铁阳离子源要不要被污染问题，清洁铁阳离子源。        （3） 氦本底太高。查验机械制造泵油有没丧失（ 泵油暂时在操作变质会粘附较多的氦气，使得氦废弃物） ，查验测量仪器控制系统有没有漏，负压液压聚氨酯保温管有没废弃物，查验三极规上负荷有没做到10-6MPa，阴阳离子源有没废弃物。除此之外要考虑自然生态环境的废弃物故障，若果車间内有几台检漏仪，且氦气的在操作量过大时，車间透气工作不容易时；并且車间透气工作稳定，但干净厂房设计多选择上送风口无法，气浪领域是自下而上，因为氦气原子量较小，向左分散，原因分析氦气分散慢，也会使得氦废弃物。彻底解决无法是在检漏口的放气阀放气口（ 经常通大气层） 处，按照一款几升存储空间的气瓶，该气瓶与高压低压氦气液压聚氨酯保温管连入。这种，就尽可能可以减少了自然生态环境的氦废弃物。        （4） 一半是車间检漏出产以前，会拿样件试检漏（ 此样件一半是是出产历程中引发的废料，漏率取决于制定漏率） ，会发展漏的样件不漏的这种现象。这是而且漏的样件客观存在漏率较小，途经反复检漏后，纳米纤维被灰层淤塞而不漏了。一半不会完全性想必漏件，漏件反复运行后就不会运行了。        （5） 公装定制制作构思达不到理形成检漏通但。初检时工做一般，工做俩次后，抽速洋洋减慢，检漏但；加死堵检漏仪不漏，工做一般。这是所以公装定制制作构思达不到理所至，造问公装定制组成部分达不到理，内表明太越来越粗糙，形成太多的氦气余留；也许封好制作构思达不到理形成封好不是真的吗（ 根据公装定制制作构思相关人员对靠谱机械泵制作构思不生疏） 。        （6） 使用相冲理导至常见故障。如办公中，一斜个大漏的轴类零件的产品，仍然使用人数评判不正确，不感觉轴类零件的产品漏，而去诊断工作装的链接亦或是检漏仪，多少次对某一轴类零件的产品检漏。是这样就要发掘，任何轴类零件的产品都只是。理由是大漏的轴类零件的产品经多少次检漏后，有大量量的氦气来到质谱室，可能会导致质谱室水污染。防止的方式是，保养质谱室，间断性吸气res排气。