各种真空系统可容许的漏气范围

2008-11-02 鬼马 真空技术网整理

    严格地讲,任何设备都有漏气现象存在,问题在于漏气量对真空设备及使用目的是否有影响。漏气发生的影响在于可能影响到达的压力或实验生产的纯度等。如果不能造成这种不良影响,则在某种范围内可以容许有一定的漏气。一般而言,如下表所示的漏气量可以容许。

    容许漏气量=设备最低压力 x 排气速度 x 1/(10-100)

真空设备

容许漏气量（Ｐａｍ３／ｓ）

简单的减压设备

１０～１０２

减压干燥设备

１～１０

简单的蒸发成膜设备

１０-７～１０-６

高级成膜设备

１０-９～１０