下图为典型的小型溅射离子泵无油超高真空抽气系统。

1.溅射离子泵　2.钛升华泵　3.高真空阀　4.真空室　5.粗抽阀　6.分子筛吸附泵　7.管道阀

图 先进典型中大型溅射正离子泵超标真空软件软件 　　模式的进行操作生产技术方式：开始（待冷凝）降解泵；这样你粗抽是用二级原子核筛降解泵，则先待冷凝开始首要级降解泵，的一同给钛凝炼泵通待冷凝水。用首要级泵将模式粗抽得1000 Pa 之间，2.步很快关闭程序将首要级降解泵与粗抽液压管路隔段，就用2.级泵将模式抽得0.4 到0.2 Pa。这样你选取三級降解泵粗抽时，则可作首要级泵抽得3000 到5000 Pa的负担值值，用2.级泵抽得15 Pa 负担值值，其次級泵抽得0.1 Pa。等级抽气可气物吸附在粘滞流工作状态下开始首要级中的惰性气物，的一同也可提高后面1级抽除的气物量。这两者之间的特效还是减低模式的终极负担值值。

　　如果系统中有钛升华泵，则在真空室压力约为0.5 Pa 时就可以启动升华泵，开始连续升华，打开高真空阀门对真空室抽气，当真空室压力达到0.1～0.05 Pa 时便可启动溅射离子泵，然后关闭粗抽阀门，将粗抽管道与系统隔开。当系统压力低于10^-5 Pa 时，则可让钛升华泵间断工作，随着系统压力的下降，蒸钛的间隔时间可以一次比一次加长。可使用定时电路来控制钛升华时间和升华的间隔时间。

　　一旦在系統运营前，溅射阳正离子泵曾泄露过电离层，则系統的操控程序是先制冷吸出泵，并连接钛进化泵的制冷水，时候另存高真空泵阀和粗抽阀，按以上简介过的程序，用吸出泵和钛进化泵对系統来采取粗抽。当连接溅射阳正离子泵电压时，致使泵内金属电极的撒气，系統的负压就可以变高，，因此这个时候仍需注意吸出泵和钛进化泵来采取抽气，等你把拉出的有害气体工况抽完已经。当系統负压比较稳定在0.1 Pa 上下时，只能关上粗抽输送管闸阀，随之按正确原则联续本职工作。 　　阴铝离子泵软件熄火前，先将高涡流阀闭合，再把阴铝离子泵开关电源关了，大部分软件可控制在涡流状态下下，终究会第一次如何再用。 运作小心议题

　　（1） 溅射离子泵应在低于10^-4 Pa 的压力下稳态运转。

　　（2） 不要在系统压力高于10^-1 Pa 时启动溅射离子泵。

　　（3）不必让铁离子泵在较高负压下抽除广泛氦气。 　　（4）涡流室变小气时，APP球阀将溅射铁离子泵玻璃隔断墙。 　　（5）应按正常顺寻操作使用吸咐泵。