分子筛吸附泵的抽气特性

2020-05-06 真空技术网 真空技术网整理

　　1、氧分子筛物理吸附泵终极压强：基本为10-2～10-3Pa。 　　2、氧氧分子筛降解泵的抽速：氧氧分子筛降解泵的抽速可作经验值关系式来计算。 　　S = 2.8×10-2A (L/S) (1) 　　S = 6.6×10-3A·K (L/s) (2) 　　n = 4( W / A ) (3) 　　式中A为垂直线于泵中线的剖户型面积(cm2)；K为常数；W为氧分子筛需水量(g)；当 n>17 时，用(1)式来计算的抽速S，当 n<17 用(2)式来计算的S，常数K按表1筛选。 表1 常数K

n
2
4
6
8
10
14
17
K
1.75
2.85
3.35
3.65
3.75
3.99
4.0
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