前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾

2013-11-14 杨乃恒 东北大学

  详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。该系列包括五种规格,在入口压力为1×10-4~1×10-5Torr(1Torr=133Pa,下同)范围内,对空气的抽速为100~8000L/s,用…-1A号泵油获极限压力为(2~5)×10-6Torr。以后又补充一台H-40T大泵抽速为32000L/s。抽速100和500L/s的泵为二级喷咀;抽速为2000、5000和8000L/s的泵为三级喷咀,而32000L/s的大泵出口连接一台‚-3型油增压泵。所有这些泵的最大出口压力不低于0.1Torr,因此前级泵可直接用机械真空泵,不用增压泵即能正常工作。1990年按国际标准口径又研制了新系列产品,性能有所改进。本文对目前我国生产高真空系列扩散泵有一定的参考价值。

  仍然高蒸空箱油散出泵的产品的的错综复杂,急待统一性主要表现的的产品的款型,也是快速发展高蒸空箱用途设施设备工作的的已经和有必要。   制造技术的为的是要树立的国家的协调的系列新产品的,即泵的抽速为100~8000L/s。同一年前生育的旧型新产品设备相对,规定确保生育成本预算划得来,运营非常便利。在已经制造技术协调的系列新产品的新产品设备以前,以1948~1951年时间内生育的8种高蒸空环境发展泵为理论知识(即抽速为100~26000L/s的高蒸空环境发展泵),这一些泵的通常使用性能如表1图甲中。   然而 ,那些已产生过的高真空箱散出泵,怀有比较重要的弊端,在新设计的货品类别时一定要多方面克服自己。那些旧泵的重要弊端是:   单独一个泵上下级相互,比特征参数有强烈的的差别,中间与些现化任务不相当(表1); 表1 高正空传播泵的通常耐腐蚀性(1948~195一年)

高真空扩散泵的主要性能

  不同的泵的构成类型极不一致;   泵的安装和拆下很多样化(非常是加固工程用的产品总数多)(见表2); 表2 通常看上去尺寸图和扩散转移泵一般结构的的元件人数(不记电热处理器)

主要外形尺寸和扩散泵典型结构的零件数量

  泵体的放凉控制系统,用焊结的蛇形管,使用稀缺资源的五金锡;   生产泵常用的稀有金屬金屬产品消耗脂肪量大(如冷确平台),平均值为常用产品成本价的75%(见表3)。 表3 扩撒泵主要表现形式的涂料重和房价(只含电升温器按1952年房价计)

扩散泵典型结构的材料重量和成本

  原H-5T这一泵的特证是:   与同样同行型的泵相对,它有较好的比基本特征(见表4)。 表4 ˜ƒH-15、H-4和H-5T传播泵比特征参数相比表

˜ƒH-15、H-4和H-5T扩散泵比特性比较表

  在泵上用三级职业资格证书扰流板管,再次级职业资格证书为喷出级。它不能不用增压泵,使泵能照常上班岗位。前一些喷出器仅在小抽速的吸附泵(˜ƒ-100和˜ƒ-15型泵)应该用。在这一H-5T泵的启动疲劳试验揭示:在高抽速的玄幻吸附泵上衣置喷出级,具体情况上是可实施的和合理的的。才能减少了研制抽气部件的涂料浪费,拉低了直接费用,还拉低了使用过程中中的交流电浪费达50%。   在通气管管的接下来,可装方形分馏平衡装置,带动了油在泵中的分馏进程,节约了达标限制压强的耗时,与此同时限制压强有增强(见图1)。

高真空油扩散泵的分馏装置

图1 高高压气油传播泵的分馏器   挡水板管的稳定好是采用一款带螺孔的中心局拉杠。喷咀齿隙规格尺寸的稳定好也不会用用的行程开关器,很大降低了泵的装配工和替换流程(图2)。

H-5T泵上喷咀固定的示意图

图2 H-5T泵上喷咀统一的举手图   稳固用零件及运转情况颗数少(在金桥接地铜绞线——加塑铜绞线的蔓延泵中,H-4为75件,而H-5T仅为6件)(见表2)。   与差不多泵比起来,它的外观尺寸图小、载重量也轻(见表4)。   因而,高真空泵外扩散转移泵的保持一致型号,则以原H-5T型外扩散转移泵为新型号的基形。 假设

  1953年统一系列研制的五种尺寸的扩散泵,在1×10-5~1×10-4Torr压力范围内,对空气的抽速从100~8000L/s,以后的H-40T泵的抽速为32000L/s。而1990年研制新系列产品五种尺寸,在10-4~3Pa的压力范围内,抽速分别为310,640,2150,5600和15500L/s。

  用…-1A泵油时1953的泵的极限压力为(2~4)×10-6Torr,而1990年产品的极限压力为7×10-5 Pa。

  针对于195几年类的产品系列类的产品的极限用于进出口值各种压力差为0.1Torr,而H-40T用于进出口值加增压泵故用于进出口值各种压力差为0.3Torr,而一九九零年类的产品为27Pa。   1956年系货品100,500L/s为冷凝机组泵,2000,5000和8000L/s为三级分销泵,再者级分销均为喷咀器。   在扰流板管中下部跳级馏系统设计,1了泵油在泵中的分馏操作过程。增强了程度负压。   冷却后水软件由蛇形管转为水套式冷却后水。   另份数量以减少使价格调低。   所有的泵的尺寸规格和称重减小了。   拆御便利,喷咀间距不用了限位开关器稳定。   回望前苏联新的旧的题材產品的试制阶段,是我们制定產品题材,细则化工作,提升特性和变低投资成本是能否参考的。有处理不当事例,请进行批评表明。