前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾
2013-11-14 杨乃恒 东北大学
详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。该系列包括五种规格,在入口压力为1×10-4~1×10-5Torr(1Torr=133Pa,下同)范围内,对空气的抽速为100~8000L/s,用 -1A号泵油获极限压力为(2~5)×10-6Torr。以后又补充一台H-40T大泵抽速为32000L/s。抽速100和500L/s的泵为二级喷咀;抽速为2000、5000和8000L/s的泵为三级喷咀,而32000L/s的大泵出口连接一台-3型油增压泵。所有这些泵的最大出口压力不低于0.1Torr,因此前级泵可直接用机械真空泵,不用增压泵即能正常工作。1990年按国际标准口径又研制了新系列产品,性能有所改进。本文对目前我国生产高真空系列扩散泵有一定的参考价值。
仍然高蒸空箱油散出泵的产品的的错综复杂,急待统一性主要表现的的产品的款型,也是快速发展高蒸空箱用途设施设备工作的的已经和有必要。 制造技术的为的是要树立的国家的协调的系列新产品的,即泵的抽速为100~8000L/s。同一年前生育的旧型新产品设备相对,规定确保生育成本预算划得来,运营非常便利。在已经制造技术协调的系列新产品的新产品设备以前,以1948~1951年时间内生育的8种高蒸空环境发展泵为理论知识(即抽速为100~26000L/s的高蒸空环境发展泵),这一些泵的通常使用性能如表1图甲中。 然而 ,那些已产生过的高真空箱散出泵,怀有比较重要的弊端,在新设计的货品类别时一定要多方面克服自己。那些旧泵的重要弊端是: 单独一个泵上下级相互,比特征参数有强烈的的差别,中间与些现化任务不相当(表1); 表1 高正空传播泵的通常耐腐蚀性(1948~195一年)





1953年统一系列研制的五种尺寸的扩散泵,在1×10-5~1×10-4Torr压力范围内,对空气的抽速从100~8000L/s,以后的H-40T泵的抽速为32000L/s。而1990年研制新系列产品五种尺寸,在10-4~3Pa的压力范围内,抽速分别为310,640,2150,5600和15500L/s。
用 -1A泵油时1953的泵的极限压力为(2~4)×10-6Torr,而1990年产品的极限压力为7×10-5 Pa。
针对于195几年类的产品系列类的产品的极限用于进出口值各种压力差为0.1Torr,而H-40T用于进出口值加增压泵故用于进出口值各种压力差为0.3Torr,而一九九零年类的产品为27Pa。 1956年系货品100,500L/s为冷凝机组泵,2000,5000和8000L/s为三级分销泵,再者级分销均为喷咀器。 在扰流板管中下部跳级馏系统设计,1了泵油在泵中的分馏操作过程。增强了程度负压。 冷却后水软件由蛇形管转为水套式冷却后水。 另份数量以减少使价格调低。 所有的泵的尺寸规格和称重减小了。 拆御便利,喷咀间距不用了限位开关器稳定。 回望前苏联新的旧的题材產品的试制阶段,是我们制定產品题材,细则化工作,提升特性和变低投资成本是能否参考的。有处理不当事例,请进行批评表明。







油粘附泵的办公的加工原理与水蒸气加热噴射泵相拟,全都靠高蒸气加热射流来携