任何油扩散泵真空系统中都会因发生故障而有可能影响设备的性能或生产能力。任何一只阀门的误操作都会使扩散泵泵油返流到真空室内，从而污染真空室和产品。前级管道上的漏孔、机械泵油液面高度不适当或前级管道阀门的失灵都会使前级压力超过临界值。当前级压力超过临界值时，扩散泵油会迅速返流到真空室里去。

　　在许许多多状况下，泵液的返流是由主设备形成出现问题的或使用步凑错误形成的。要保持这个要注意应当的最简单的土办法可是完成系统的全一键使用。出现一键的控制和不定期服务器维护，就需要具备建立健全的出现问题的自我保护。并使返流才能减少到就有越来越少一丝设计物污染源的成度。 　　上面列举出了操作方法工作员都要了解的几个需注意特别注意。

　　1.不能用机械泵将真空室直接抽至低于13.3Pa的压力。因为当压力低于13.3Pa时会引起机械泵油蒸汽分子返流到真空室而造成污染。如果在机械泵与真空室之间有油气捕集器， 则允许机械泵抽到13.3Pa以下压力。

　　2.如果在扩散泵入口与高真空阀之间装有液氮冷阱，则在抽气时不要在真空室的压力高于10^-2Pa 时，给阱加入液氮，否则将使冷阱中凝结过多的水气。冷阱加液氮前，要把冷阱贮液罐中的所有水凝液清除掉，以避免水冻结在阱内。

　　3.在会因为所需需要将对外扩散泵（或油增压泵）通大气质量以往，应将泵油放置冷却到安全管理室内温度左右，制止中高温下泵油的空气氧化。 　　4.要避免 因前级地埋管上的渗水、机制泵液压油面长度不适宜或前级地埋管的阀门的键盘失灵使扩撒泵的前级负担以上临界值值值，当前工作级负担以上临界值值值时，泵液会速度快返流到机械泵室里去。 　　5.扩散转移泵最容易标准配置热守护启动继电器元件，当情况停水特大事故时，能立尽管加温器跳电，并开起泵平台入口气动阀门，阻止泵液因温暖过高受到影响和返流。

　　6.扩散泵在稳定的工作状态下，不应超过最大气体负荷能力（最大抽气量）。应尽量避免在15～10^-1Pa 的压力范围内长期工作，因为在该压力范围内，扩散泵和粗抽泵有最大返流率。

　　7.粘附泵工做应立即当一般检修泵能不有部位太烫，检修急冷温度，温度过高应立即当提升急冷供水量。 　　8.分散泵的应用生态环境应规范要求一定完全符内控定，假设室内温度少于35℃，含水率大于等于80％，泵的性能指标会降低。

　　9.扩散泵正常工作时，如真空系统的真空计规管打碎，或放气阀突然打开时，应马上关闭高真空阀。防止泵油氧化。

　　10.分散泵退出利用其间应真空系统储存，散热水用挤压气氛晾干净。