扩散泵抽气系统的前级泵可用罗茨泵-旋片泵组合，罗茨泵-滑阀泵组合，单独用旋片泵或罗茨泵等几种形式。油扩散泵抽气系统结构简单，操作方便，寿命长，价格便宜，是目前使用范围最广的一种真空获得设备。

　　依照被抽不锈钢容器的水比热容也可以直观查验扩散转移泵空气能热泵采用的会不会适宜，寻常可按表1中均示做好粗选。 表1 吸附自动化设备泵重力作用工作机组代表被抽容积怎么算

　　扩散泵抽气系统可以适当地装备一些传感器，当万一出现操作失误或系统有漏孔、冷却不善及扩散泵泵液不足时，这些传感器可发出信号将系统关掉或使系统处于安全状态。真空系统中的气动阀和电磁阀应能在设备发生故障时立即动作，使系统处于安全状态下。在压缩空气或电源发生故障时，要关闭除粗抽泵的放气阀以外的所有阀门。粗抽泵放气阀则应打开，以防止机械泵油返流进入粗抽管道。在扩散泵冷却水管的出口（而不是入口）处可装一流量计。借助于流量计的信号，系统控制器就可切断扩散泵的电源，并关闭高真空阀和前级管道阀。在扩散泵冷却水管的入口处采用一个水过滤器以防积垢堵塞水管，并可免除过早的检修。可用装在扩散泵泵壳外面的恒温开关和装在锅炉上的热敏开关来检测泵壁和泵油的工作温度，还可以对泵工作液的液面进行监测。热偶规或皮拉尼规控制器上的设定值是在真空室出现漏孔时给出自动控制器信号的，以便由它来关闭高真空阀，并在前级出现过高的前级压力时断开扩散泵电源。许多液氮装置装有低液面报警的传感器，当致冷剂耗尽时关闭高真空阀门。

　　可能分散泵都没有高速运转机械部件，故维护较简便。大部分泵选择500h后还应换每次新油。换油时则同时实行维护，维护也就完全的洗涤泵芯，泵体，排除油锅上的结渣，用压解气吹去冷凝水分液漏斗的锈。进行加水设备假设是大部分的裸式电热炉，则用500h后就会换成每次，假设是开放式式进行加水设备则保修期可很大延伸，不可开展换成到用坏再换。 　　传播转移泵平常选择KSl～KS3号传播转移泵油，平常用的约几个月换多次油。为变低返油率可选择274～275号硅油，平常工程环境下，约用的2～5年换多次油。传播转移泵元件与变动准确原因，会就直观损害泵的性能指标。泵元件前各元件要冲洗好并做到洗涤。元件前元件有必要要彻底清除烘烤，元件时不应当用手掌就直观摸泵芯，泵芯元件有必要要准确，没法向很多一端偏斜，元件后要自动检测雾炮与泵壁中的间隔。添加时要事后在外面自动检测好剩余加油量，千万不要边倒边看角度，以确保剩余加油量包含规定标准。 　　裝配好要测试散出泵的極限真空箱系统度要不要符合泵原技术目标，测试方案按关于 国家的标准规定完成，符合泵原真空箱系统度技术目标时才交货运行。