图3 为溅射额定效率和复合膜积聚传输数率的相关直线图。艺性能参数是：化学反应汽压0.7 Pa，O2 气和Ar气2g流量之比3/20，积聚体温200℃。由图3 知ZAO复合膜积聚传输数率随溅射额定效率的变大可以说成线形增速。这是缘故在溅射镀晶环节中，积聚传输数率（R)是与入射亚铁离子流高密度（J)和溅射产额(Y)的乘积正相关，即： R = CYJ         在这其中C 是溅射系统属性的常数。要根据上式，当溅射工作交流电压增多时，溅射工作电流和交流电压同時涨幅，使入射阴阳阴离子流溶解度(J)和入射阴阳阴离子热量（E）增多，而入射阴阳阴离子热量（E）和溅射产额与此之间内的的关联呈矩阵合同地直线涨幅，塑料膜形成沉积强度也进而矩阵合同涨幅。           在图3 的曲在线取120W和170W3个点，绘制得图3.1并和图1充当更，任何方法技术参数增加相同。可能看出来随电率的变高，形成积聚效率曲线拟合产品向右右上角中移动并增加的样子的相拟性。阐述它仅能使形成积聚效率增长但不可有效降低靶食物中毒状况的直接影响。

直流反应磁控溅射ZnO:Al薄膜的制备与膜厚的测量

O2气流量对ZAO薄膜沉积速率的影响

反应气压对ZAO薄膜沉积速率的影响

溅射功率对ZAO薄膜沉积速率的影响

衬底温度对ZAO薄膜沉积速率的影响