衬底温度对ZAO薄膜沉积速率的影响

2009-05-21 邹上荣郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室

图4 反映了沉淀积累效率对衬底的的室内水温的波动并不明感。加工过程技术指标为：反响压力0.7 Pa，O2 气和Ar 气总流量比是3/20，溅射热效率140 W。随衬底的的室内水温的上升，气相色谱原子结构在衬底外壁的润湿性指数扩增，沉淀积累效率理所应当减低，只不过在本实践中的导致并太大，这要花是鉴于仪器显示信息的的室内水温与其实的的室内水温不符合又亦或鉴于溅射粒子束对衬底外壁的刻蚀磨损所因起的。在图4 的曲线上教育取170℃和230℃2个点，绘加工成图4.1 并和图1 做为相对较，别生产技术主要技术参数持续相一致。可不还能要在较低的2g数据国内流量下，沉淀数率单位关键不改，沉淀数率单位變化的两点要求选址关键相似，但在较高的2g数据国内流量下，沉淀数率单位随衬底湿度增大而增大了。故此，常温也不能能减慢靶食物气体中毒症状干涉状况，但要使因它受到沉淀数率单位的變化范围大大减少。可不还能从图2.1、图3.1 和图4.1 中要，是不管怎么说變化症状大气压力表，溅射功效或沉淀湿度中的同有一个有一个主要技术参数，保护膜的沉淀数率单位随O2 2g数据国内流量的變化的趋势是相一致的，还会因此靶食物气体中毒症状而经历英语从铝合金传统模试淡入到氧化的物传统模试，以至于可不还能适量地提升大气压力表，功效和温来赚取较高的沉淀数率单位以此可以缓解靶食物气体中毒症状的干涉状况。