含氢类金刚石薄膜的制备及其光学常数研究

张艳茹 杭凌侠 惠迎雪 潘永强 (山东工业生产大学本科湖北省pet薄膜技巧与光学仪器论文检测要点实验性室 山东 710032) 　　绪论：采取非平衡量磁控溅射施工生产工艺制得类金刚石溥膜时，在尖端放电乙炔气中转化含-CH3 氧分子团的丁烷乙炔气，即利用现象磁控溅射施工生产工艺赢得含氢DLC 溥膜，调查体系就像文中1 已知。对现象乙炔气国内的流量做出施工生产工艺seo后，溥膜积聚带宽可加强到3.8 nm/min;氢成分的引入因此弯折率、消光公式较低，在这当中消光公式的波动相对严重，缩减个的数量级，具体情况见图2；在1064 nm 处，利用主要表现制得施工生产工艺指标，含氢DLC 溥膜复弯折率可抵达1.7032～i0.0041，表明CH4乙炔气国内的流量的不一样，复弯折率小范围内两边异动;差不多规格的DLC 溥膜，在3-5mm频谱，现象乙炔气的引入因此顶值通过率偏高15%。 　　关键的词：发生反应磁控溅射 含氢类金刚石溥膜 光学薄膜常数 穿透率