真空混合漏孔检漏方法讨论

2009-03-25 史小军 东南大学电子工程系

         夹层式混合漏孔一般来源于工艺和结构不合理、材料有缺陷等因素,难以修复。混合漏孔的长反应时间虽已有报导 ,但对漏孔中示漏气体流动的延迟时间和保持时间还未引起注视,漏孔的长反应时间,仅造成示漏气体浓度增长缓慢,如果检漏仪灵敏度足够高,理论上仍能快速探得漏孔的存在,仅漏率值难以计算而已。例如,本实验中,1×10-3PaL/s的大漏孔用氦质谱检漏仪应能测得,只因这种漏孔一般都存在延迟特性,在该延迟时间内,就不会出现示漏气体,也就无法探得漏孔的存在,这是常规法检漏混合漏孔失败的原因。

        在用质谱仪作混合气体配比实验时,两个1L玻璃瓶分别装有压强为数千帕的两种气体,经Φ6mm的玻管进行混合时,需经3~4 h 后,质谱图上两种气体的峰高比才稳定,一般配气后存放12h才使用。这种依靠气体扩散而非高真空下分子自由运动的混合过程是缓慢的,这个实验与现研究的混合漏孔的物理过程是相似的。

        对漏孔的延时电路因素探讨,在实验性数据统计里,还有好几个未能解释一下的状况,二是图6上表现的M=40的Ar峰下跌传送速度长远于M=29代表性的气流攀升,最后个疑问是:如何卡顿时长以5 h 计算出来,则漏孔的原低温干燥的总气流量应具0125 cm3 (在1atm 时) 。很似乎,检漏的感测器器不太应该有0125cm3的漏孔球体积。作出纠纷应该是通入的示漏有机废气气体因塑袋绑扎不紧掺入气流,也应该存有以外的别的漏孔,还迫切需要进两步探讨根本。        混合式漏孔因示漏气物氧化还原电位的出错时速极慢,且普遍存有延迟时间定律,故用普通的示漏气物喷吹,就没有办法探得漏孔的普遍存有和测定漏率值的深浅。          抽正空环境元部件分娩中仅用正规质谱检漏法,有可能会漏检混后漏孔。改进措施辅用质谱计评测法处理好食品的快捷校正要。质谱计评测法即把被检pcb板用防护消毒阀与质谱计抽正空环境控制系统连接方式,观看防护消毒阀开启后大气质谱峰的变化无常确定好漏孔的产生。也可进行别的种辅助工具技巧,即把成批pcb板我们要存放在于抽正空环境室外,先抽气,后充示漏其他气物He,让漏孔内有全面日期抽除原存贮大气和再存贮示漏其他气物,如果挨个拿出来,在要保护一年后校正He 气溶度,考虑到有可以长要保护日期,不会为示漏气全衰减而检漏失敗。          混和漏孔更易在比较复杂的真空体密封圈节构身体内冒出,掌握了了它的加长不良反应准确时间和伴随着的网络延迟和控制性能指标,出现立于探得这些漏孔的存在着,于是加快了检漏本职运行的信得过度。上述内容一件,供检漏本职运行者符合和座谈。

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