灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。

① 氦质谱检漏仪灵敏度及其校准

        氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率,记为q_L,min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值, 被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气,仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min 内输出仪表的最大波动量。

 11 检漏仪　21 针阀　31 阀门　41 干燥瓶　51 标准漏孔　61 辅助泵　71 机械泵　8、91 三通阀　101 稳压瓶　111U 形计　121 　131 氦气瓶　14、15、16 阀门

图6　漏率灵敏度校准系统

        漏率灵敏度校准系统如图6所示。图中虚线框内部分为配气系统,即为标准漏孔5进气端提供压力为pHe的纯氦气。辅助泵6的任务是预抽。用干燥瓶4和针阀2调节仪器工作压力。如果仪器本底为I₀,本底噪声为I_n,标准漏孔对空气的标称漏率为q _L,o,当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I,则仪器灵敏度为

        如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流),或用累积法检漏时,给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度),记为Y _min,能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气流率q _L,a,则仪器浓度灵敏度应为

② 反应时间、清除时间及其测定

        反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输出仪表讯号上升到最大值的(1- e^-1)倍(即0.63)所需要的时间,记为T_R。清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后,停止送氦, 其讯号下降到最大值的e^-1倍(即0.37)所需要的时间,记为T_C。

       反应时间和清除时间的测定装置如图7 所示。

图7　反应时间与清除时间测定装置

③ 工作真空、极限真空及入口处抽速

        质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。