四极质谱计又称四极滤质器，是根据不同质荷比的离子在直流-高频四极分析场中运动轨迹的稳定与否来实现质量分离的。该仪器包括四极探头和控制电路两大部分。四极探头装在高真空系统的质谱室内，它由离子源、四极杆系、电子倍增器等几部分组成。被测气体通过进样系统进入质谱室，在离子源内电离为离子。离子被引入到四极场，在四极场的作用下离子按其质荷比大小被分离。离子流经倍增器放大后以谱的形式输出。输出信号以模拟峰、浓度变化曲线、数据表等多种形式显示。质谱计通常用质量范围、分辨率、最小可检分压力、最大工作压力等几个技术指标来描述。

         从原理上讲，任何一种分压力真空计都可用于检漏。随着近年来质谱技术的发展，作为一种分压力测量仪器，四极质谱计用于检漏越来越显示出其优越性。相比一般检漏仪，四极质谱计具有更高的灵敏度、更大的分辨本领，而且具有体积小、质量轻、可选示漏气体广等诸多优点，可以在真空泄漏检测领域中发挥更大的作用。

四极质谱计检漏机理

         利用四极质谱计进行检漏，主要是对示漏气体的分压力进行测量，由此知道漏孔位置及漏率大小。设一真空容器体积为V，系统对示漏气体的抽速为S，漏孔对示漏气体的漏率为Q，则示漏气体在系统中的分压力

        p 的长宽比要用如下所述微分平衡点式子说道：

 

       代入原始环境：t=0 时，p=0，对式（1）实现近似计算必须得要

       式（2）正是示漏气物分的压力p 中途间t 在正空金属罐中上升的规率。利于四极质谱计在线测量应对示漏气物的正离子流力度转化，由此可见如要辨别正空整体漏孔漏率尺寸。 四极质谱计检漏的工艺和过程中          凭借四极质谱计对负压操作系统化进行检漏，基本的操作步骤是先相关性后标记，一旦要有按量，还要有应用进行校正操作系统化。

        定性的过程首先是对真空系统抽至高真空，如有必要，还需对系统进行烘烤、除气等过程，以降低系统本底影响，提高检漏灵敏度。然后利用质谱计模拟峰扫描模式对系统本底进行扫描，通过对扫描得到的离子谱峰类别和高度进行分析，可以初步判定系统是否有漏，此即“定性”过程。确定系统存在泄漏以后，可用示漏气体（一般多选用氦气）对怀疑漏点或易于发生泄漏的位置进行喷吹扫描，当示漏气体喷吹到漏孔上以后，示漏气体通过漏孔进入系统，造成其内部分压力增大，通过四极质谱计即可检测确认泄漏位置，此即“定位”过程。

       如果你须得进这一步认可程序漏率规模，则需连结条件漏孔对程序来进行复位过后才还可以来确定其液化气泄漏值规模，此即“降钙素原检测”工作。

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