氦质谱检漏是指从真空腔体外部用氦气吹向被检测部位，然后由连接在真空腔体上的氦质谱检漏仪来检测侵入的氦气，这是目前最为常用的真空检漏方式。

　　氦质谱检漏仪的基本原理如图1所示。灯丝发出的热电子加速流向阳极，遇到气体分子后使气体分子离子化。在离子向离子收集极运动的途中设置磁场，则离子受洛伦兹力按圆形轨迹运动。离子的质量为m，电荷为e，则圆形轨迹的半径和质荷比m/e有关。合理设置出口缝隙的位置，使m/e=4，即 He+能穿过缝隙，其他不同于氦质荷比的离子因其偏转半径与仪器的狭缝设置不同而无法穿过出口狭缝，因此氦质谱检漏仪只能检测到一价氦离子。使用氦质谱检漏仪，通常要求被检测空间的真空度在10^-3 Pa以下，检测精度可达10^-13 Pa·m³·s^-1。

图1　氦质谱检漏仪的基本性原则图 1—灯丝；2—阳极；3—磁感线；4—狭缝；5—铝离子回收利用极；6—提速电极材料 　　氦质谱检漏仪具备着功效稳定性、精准度大的优点。精准度、不起作用时长、清空时长、工作上抽真空环境度、级限抽真空环境度及议器考区处抽速是评判氦质谱检漏仪的常见功效的指标。 　　论文检测汽体运用氦气的主要的因素下面： 　　(1)对身休和当然生态就没有残害； 　　(2)没有进行燃烧，家庭作业安全性； 　　(3)惰性空气，和被测量客体都不会发生耐腐蚀影响； 　　(4)分子结构尺寸和的质量小，易于盖过肺部结节影间隙，，于检漏； 　　(5)大部分周围环境下增加气态状况，不堵满微漏孔； 　　(6)真空室腔体自我发布的废气中近乎不主要包括氦气； 　　(7)氦气在的空气中的会存在量仅为5ppm，比较容易指定地点追查漏气具体位置。 　　可能氦气比冷空气轻大多，向真空室腔体喷氦气检漏时要从上来由大到操作的，以免受阻于分辨漏点坐落。当腔体设计构造简化，或漏率较小时，可而对关键点内脏器官用塑胶片袋套住，其次向塑胶片袋内壁内充氦气，控制对单一关键点内脏器官的检漏。 　　一半现状下，重力作用检漏时要重点村喜爱一些步位： 　　(1)法兰盘接口协议部位零件； 　　(2)激光焊接位置； 　　(3)水纹管部位零件； 　　(4)别的良好的密封性位置。 　　负压技术工艺网(//crazyaunt.cn/)看做實驗室找到较多的漏气问题其主要有：封严面或封严垫圈不清洗；法兰部螺柱力距不匀称。

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