扩散泵的性能计算
2020-05-03 真空技术网 真空技术网整理
1、吸附泵的抽速S的核算 借鉴公式计算(4) 式中 ω——蒸汽发生器射流的大概快速 R(L)、R(O)——区分带表泵筒与喷咀帽的直径约 a——蒸汽发生器射流与泵壁的倾斜角 D——气态在射流中的发展标准值 2、扩散转移泵每级最大化缩短比(P2/P1)max的算起(5) 式中ω、D——效果同(4) L——蒸汽发生器射流长宽高

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