铝阴阳阴阳阴离子泵由强塑胶镊子、蜂窝状阳极、钛(Ti)负极制成(图1)。铝阴阳阴阳阴离子泵的总体机制是利用率负极蓄电池充电所造成气味大分子式的铝阴阳阴阳阴离子，铝阴阳阴阳阴离子相碰负极而被负极吸引，一起也所造成溅射效率。负极涂料用铝合金Ti设计制作，铝合金Ti被溅射后，在腔体的内壁上反复造成特异性膜，以后主气味大分子式化学反应，而使总是实现排气阀门。是因为交变电场的产生，负极蓄电池充电可提升在过低的压强下。

图1　化合物泵的组成部分和原里图 　　铝离子泵的排气阀阀量和释发出电能瞬时电压电流正比，释发出电能瞬时电压电流I和排气阀阀的速度S与压强p之积正比

　　往往，若是 排气口的速度保持稳定一些，则释放交流电和压强正比，也是说衡量释放交流电就能知重力作用度。铁离子泵的主要特点以下的： 　　(1)齐全隔膜真空泵。停气时也并不用关闭单向阀。 　　(2)的工作压强范围内广，比较合适超高蒸空的获得了。 　　(3)没有人运行业务。只需出示电能便可任务，满足白天没有人基本的操作和远距基本的操作。得到自保護功能表，当情况蒸空衰退并超出一些 值后能自功关停电压。 　　(4)工作任务安安静静，已经无产生振动、无吵音。 　　(5)能效。需用电量公司工程和压强成比例，刚起动时还要某种的电量公司工程，跟随正空度的上升则能量消耗电量公司工程下降。 　　(6)不要有真空室箱计。可能压强和击穿直流电压成比例，确定击穿直流电压则确定在现在销售市场上的真空室箱度。 　　(7)可对惰性废气泄压阀。 　　(8)布置目标方向放任。

　　但是，离子泵需要和其他初级排气泵组合使用；同钛升华泵一样，离子泵利用化学方法排气，其使用寿命有限。作为吸附泵的一种，离子泵也需要烘烤，以放出吸附的气体。如果真空腔体放出的气体很少，烘烤中也可保持离子泵处于工作状态。如果烘烤中真空腔内的真空度处于10^-3 Pa或更差，则应该关闭离子泵。烘烤接近结束，真空度达到10^-4 Pa时，再启动离子泵。