油扩散泵抽气系统的最大缺点是油蒸汽的污染。

系统中污染物的主要来源如下：

　　(1)扩散作用泵油水蒸汽的返流。这只是最重要大的感染源。 　　(2)设计中的零配件，在加装时用有油的手拿。用有油污清洗的防护手套拿，是这样粘染的生物碳大分子会从而造成设计内的造成的污染。

　　(3)前级油封机械泵油的返流。这个问题也很严重，当入口压力较高时，在达到过渡区(1～10^-1Pa)压力时，机械泵的油蒸汽即可直接进入扩散泵内，对系统直接进行污染。很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当停机械泵时如不及时向泵内放大气，机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。

　　(4)抽气系统中密封材料的放气造成的污染。特别是人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等，也同样造成严重的污染。

　　(5)当停泵后放缩气时，使涡流零组件在废气中粘污出水过热蒸汽，排烟等，会造成对涡流控制系统的废弃物。

消除系统油蒸气返流的具体措施为：

　　(1)加大投入分散泵的进行输出来大幅度缩短机械制造泵与分散泵设置成时的重压过渡期区。

　　(2)通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区（切换过渡区）。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。

　　(3)缓解操作方法技艺， 将外扩散转移泵的加温工作效率调至极佳工作效率，制止产生泵油爆沸现状；通常情况下外扩散转移泵在加温逐渐和封步骤中，返流将产生峰峰值，故而用于泵口处的高高压气阀体来掌握制止返流。

　　(4)在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。

　　(5)选购特色的吸附泵业务液。