定向流真空校准装置主要用于方向规的校准和非平衡态分子流的研究，装置由校准室、进气系统、抽气系统、磁流体密封及磁力传动系统四部分组成。装置采用小孔向校准室引入气体，通过抽速为2000 L/s 的分子泵直接对校准室进行抽气，在校准室中形成自小孔出口至抽气口间的定向分子流，通过磁力传动技术使方向规处于校准室中不同的位置，从而研究非平衡态分子流在真空室的分布，校准装置的原理结构如图10所示。

1. 气瓶；2，5，7,10,12. 隔离阀；3，6,17. 真空规；4. 稳压室；8. 机械泵；9，11. 涡轮分子泵；13. 四极质谱计；14. 旋转系统；15. 驱动系统；16. 方向规；18. 针阀；19. 小孔；20. 固定支架；21. 进气室；22.SRG；23.校准室

图10 定位流高压气效准安全装置 　　方问规的自校是将已发现原子核数黏度的路径招生原子核流赋予方问规内，确认方问规动稳定稳定性室将路径招生原子核土地流转换为动稳定稳定性态原子核流，来计算出取到动稳定稳定性态原子核流带来的规范标准压为，充分依赖于自校室本硬气体压为的引响，自校方问规的来计算出公试为：

　　式中p 为定向培养大分子流步入走向规平衡量后的心理阻力差值；ps 为效准室本魄力体心理阻力差；ra 为孔眼19的表面积；re 为走向规平台平台入口表面积；L 为走向规平台平台入口与进气孔眼的差距；pf 为品牌进入校园市场室21 中汽体心理阻力差。

　　校准装置可以获得7.86×10^{- 8} Pa 的极限真空度，对方向规的校准范围为（10^{- 7}～10^{- 1}）Pa ，测量不确定度为6.1%。

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