为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求，研制出便携式真空计校准装置。采用直径为200mm的球形容器作为校准室，用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准。为实现宽量程校准，装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种校准方法。实验结果证实该装置的校准范围可达1×10⁵~4×10^-6 Pa，合成标准不确定度为1.3%~4.7%。装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm，总重量小于40kg。总之，该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低等优点。

　　真空测量技术在航空航天、电子工业、高能物理、核工业等领域都得到了广泛应用。真空计的测量精度主要取决于自身性能和校准，后者是真空量值溯源的基础，也是保证测量结果正确的有效途径。目前，真空计的校准工作主要送往计量实验室完成，需要的周期比较长，真空仪器在运输过程中常出现损坏现象，对使用单位的科研生产可能产生一定影响。因此，许多应用领域提出了建立企事业内部真空计校准装置的需求，期望装置具有量程宽(10⁵~10^-6 Pa)、成本低、便携等特点。

　　目前在10⁵~10^-6 Pa范围内，国内外大多数计量实验室都已建立校准装置，主要采用比对法和动态流量法。比对法通常用电容薄膜真空计(CDG)和磁悬浮转子真空计(SRG)作为参考标准，校准范围为10⁵~10^-4 Pa；动态流量法采用流量计提供标准流量，通过已知流导的小孔连续膨胀衰减压力，校准范围可达10^-2~10^-7 Pa。然而现有校准装置尽管满足实验室校准要求，但体积和重量都比较大，所采用的磁悬浮转子真空计、流量计等设备比较昂贵，不能满足许多应用单位提出的便携使用要求。

　　为此，本文研制出一种便携式真空计校准装置，仅采用满量程为133Pa和1.33×10⁵Pa的两台电容薄膜真空计作为参考标准，将静态比对法、静态膨胀法和动态流量法集成在一台装置上，实现了1×10⁵~4×10^-6 Pa范围对真空计的校准。

1、便携式真空计校准装置系统介绍

　　自校部件通常由自校室、抽气软件、进气软件四部分组名称成，总布局尺寸图为450 mm × 400 mm × 750 mm，总含水量不低于40 kg，部件的造型如1 已知。 　　操作系统简单介紹请参看本文：

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图1 校正安全装置金属机身图

2、真空计校准方法

　　关键描诉了静止对比法、静止彭胀法、动态图客流量法这三类真空箱计标定工艺。 　　这几种校正方法步骤简单价绍：

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3、真空计校准结果与讨论

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4、结论

　　研制的便携式真空计校准装置集成了静态比对法、静态膨胀法和动态流量法三种校准方法，仅用两台满量程为133Pa和1.33×10⁵ Pa的CDG作为参考标准，实现了1×10⁵~4×10^-6 Pa真空度范围的校准，测量不确定度为1.3%~4.7%。校准装置在静态比对法下的校范围为1×10⁵~4×10²Pa和1×10²~6×10^-1 Pa，合成标准不确定度为1.3%；在静态膨胀法下的校准范围为4×10²~1×10² Pa和6×10^-1~5×10^-3 Pa，合成标准不确定度为1.5%；在动态流量法下的校准范围为5×10^-3~4×10^-6 Pa，合成标准不确定度为3.7%~4.7%。所研制校准装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm，总重量小于40kg。总之，该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低优点，适用于现场及实验室校准真空计。

　　本的工作的中国国家测量地理技术学院费渭南教师的贴心命令和帮忙，这里表现恳切地表示感谢。

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