真空规比对标准装置期间核查方法

2009-05-29 赵光平 兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室

        真空规比对标准装置是采用动态或静态直接比对法校准真空计,是一台操作方便、使用效率高的真空标准装置。对真空规比对标准装置采用比对法进行期间核查。

        校验法有2 种状态,一种生活是2 台专用的仪器技術应用性质量指标英文图一样之处,另外一个种生活是2 台专用的仪器技術应用性质量指标英文图不一样之处,里面技術应用性质量指标英文图低的为被核实专用的仪器。 1、技巧公式相似         2 台枝术主要技术指标一样的的侧量条件使用对比分析,对比分析可是差参考值y-y0,应考虑式(3)

2、水平股票技术指标其他         2台技術依据不一的检测的规范标准来检测,检测没想到差指标值y-y0,应充分满足式(4)

        式中U0 为科技设备的标准规定的高的预估的标准规定的的括展不选择度;uc0 为科技设备的标准规定的高的预估的标准规定的的转化成的标准规定的不选择度         选购静态变量热胀法负压环境泵细则装制对负压环境泵规匹配细则装制进行其间查核,这2 台细则科技招生要求不相当,这其中负压环境泵规匹配细则装制的科技招生要求低。

        分别用静态膨胀法真空标准装置和真空规比对标准装置对同一台美国MKS 公司生产的1.33 kPa 电容薄膜真空计校准,校准数据见表4、表5。

表4 静态数据表格变形法高压气规格安装复位数据表格

 静态膨胀法真空标准装置校准数据

表5 进口真空规识别标准装置设备效正数据显示

 真空规比对标准装置校准数据

        表4 中,用静态数据彭胀法重力作用规范标准化安全裝置调校电容(电容器)溥膜重力作用计的分別更正因素为1.003;表5 中,用重力作用规核对规范标准化安全裝置调校的更正因素为0.998。利用式(4)折算的俩者的偏离为0.8%。         静态式的澎胀法蒸空规范规范平衡提升装置的拓张不确立度U 为0.8%,蒸空规核对规范规范平衡提升装置的拓张不确立度为3.4%,按照式(4)测算得

真空规比对标准装置的扩展不确定度

        两者之间的较差为0.8%,乘以3.5%,则抽真空规检测标准配置技术水平的状态普通 。

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