静态膨胀法真空标准装置期间核查方法

2009-05-29 赵光平 兰州物理研究所,真空低温技术与物理国家级重点实验室

         静态膨胀法真空标准装置是国防真空计量最高标准,采用传递比较法对其进行期间核查。

         传输对比法是用高6级在线校正原则和被调查的原则标定(检定)统一台维持性好的传输原则或在线校正用品,其值分辨是y0 和y,应满意式(1)

传递比较法

         式中y 为被审核规格单位的自校最终;y0 为量测规格单位的自校最终;U 为被审核规格单位的寻址不肯定度;uc 为被审核规格单位的制成规格单位不肯定度。          高3级在量测规则采用高精细气缸压力值计规则传动传动装置,其在量测条件为(1×102~1×104)Pa,加密不确认度U 为0.20%~0.01%(k=2);被核对规则静态变量澎涨法高压气规则传动传动装置在量测条件为(1×10-4~1×105)Pa,加密不确认度U为0.8%(k=2)。

         电容薄膜真空计具有优良的稳定性和重复性,常被用作真空标准之间的传递标准。这里传递标准选用生产的FS1.33 kPa 电容薄膜真空计,其测量范围为(1~1×103)Pa。在(1×102~1×103)Pa 范围,分别用高精密活塞压力计标准装置和静态膨胀法真空标准装置对FS1.33 kPa电容薄膜真空计校准,校准数据见表1 和表2。

表1 精密仪器活塞杆压差计原则提升装置调校动态数据

高精密活塞压力计标准装置校准数据 

表2 冗余增大法机械泵规范控制系统复位数据信息

 静态膨胀法真空标准装置校准数据

         注:校准细胞=规则值÷被校值。          表1 中,用高紧密活塞式重压计基准提升试验保护部件自校电容(电容器)聚酯薄膜机械泵泵泵计的一般较正指数公式为1.002 1;表2 中,用冗余热胀法机械泵泵泵基准提升试验保护部件自校的较正指数公式为0.998 2。依据式(1)运算两者之间的差别为0.39%,不低于冗余热胀法机械泵泵泵基准提升试验保护部件的扩充不选定度0.80%,该基准提升试验保护部件技术应用的状态普通 。

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