DL-10型真空计产品使用说明书

2009-06-08 王逊 北京大学电子学系

一、 概述

   DL-10型抽进口真空室计是熔融石英晶振抽进口真空室计。它的满量程较宽,精确度较高。该抽进口真空室计由规管与调整单元尺寸尺寸主成,调整单元尺寸尺寸的数字管显视压强值。

二、 技术要求

1、 测量范围:10—105Pa

2、 电源模块:联席会 220V,50Hz 3、 电功率:7W 4、 机箱外形尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)

三、 原理

  DL-10型机械泵计是应用领域熔融石英石晶振的谐振输出特性阻抗与 气味压强光于的因素做的机械泵计。熔融石英石晶振装在铝壳中作成规管,管 径为15.5mm,可进行电源接口添加程序。谐振输出特性阻抗的估测用电线路下图1如图 :

VAB为晶振两端电压电流 I 为流经晶振的瞬时电流

电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD

  VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。

四、DL-10真空计的安装

  DL-10真空系统计的按装长为2如图是:

  石英晶体晶振及震荡电路体统贴到探测器内,引线拖链拖链电缆在 5芯供电启闭排插启闭复制掌握第一单园然后板的排插启闭内,探测器Φ15.5网套直径的途径复制 真空度体统。供电启闭拖链拖链电缆这头复制掌握第一单园然后板排插启闭,另一个说的是端复制供电启闭 排插启闭。供电启闭排插启闭应含跨接线,使掌握第一单园机箱跨接。开放供电启闭启闭, 掌握第一单园数字设备管提示压强值。数字设备管提示3.2 E 2  透露压强值 为3.2×102Pa 。

五、校准

  当工作环境溫度不同时,如何应对DL-10采取校对,校对方式 内容如下:   1、臭氧层环境校正:在规管压强为臭氧层环境时,用改锥按 压掌握模快前头板臭氧层环境孔内的组合键,松掉后时需。

  2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。

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