便携式真空校准装置

2012-11-12 卢耀文 清华大学

便携式真空校准装置

卢耀文1 陈旭1 李得天2 齐京1 查良镇1

(1.复旦高校，上海 100084; 2.宝鸡力学探究所，宁夏 宝鸡730000)

　　摘 要：为了解决许多应用领域对真空计的校准需求，研制出便携式真空校准装置。采用直径为200mm 的球形容器作为校准室，用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准，将静态比对法、静态膨胀法及动态流导法集成在一台装置上，实现1×105～4×10-6 Pa 范围对真空计的校准。

　　静态比对法的校准范围为1×105～5×10-1 Pa ，合成标准不确定度为1.3%;静态膨胀法的校准范围为5×10-1～5×10-3 Pa，合成标准不确定度为1.5%;动态流导法采用两个不同流导小孔衰减压力实现的校准范围为5×10-3～4×10-6 Pa，合成标准不确定度为3.7%～4.7%。

　　设备的形状规格为长×宽×高=450×400×750mm,总单重值为40 KG，包括体积太小、单重轻、投入低、一体式等的优点。 　　至关重要词：负压计;测量;效正;轻便式式