兰州空间技术物理研究所(LIP) 在上个世纪九十年代已研制了一套质谱计校准系统，如图8 所示，主要由供气系统、进样系统、校准室、抽气系统和数据采集系统等几部分组成。供气系统、进样系统共有相同的三路，图中只画出了其中一路。

图8 甘肃区域空间技艺数学科学研究中心质谱计较准操作系统方法图

　　26. 机械泵　2，23， 24. 电磁隔断阀　3. 放气阀　4，6. 分子泵　5. 中真空规　7. 溅射离子泵　8. 超高真空插板阀　9，13. 超高真空冷规　10. 抽气室　11，16. 超高真空角阀　12，17. 限流小孔　14. 校准室　15，19. 磁悬浮转子规　18. 上游室　20. 微调阀　21. 稳压室　22. 皮喇尼规　25. 减压阀　27. 高压气瓶

　　在进样的过程 中一定要维持稳压室中气压差的平稳，稳压室中的气压差用皮喇尼规预估。上下调整阀用为设定进气量所以达成掌控调校室中气压差的为的。当极高机械泵室体角阀关闭时，限流小眼为调校整体上下游室的抽气口，小眼的长度为1 mm，以维持上下游室中气压差为1 Pa 时，小眼的流导为团伙流导。磁自动隐藏电机定马达定子和转子规分为预估上下游室中的气压差。调校室分为球体罐体，在球体罐体内最更易建立联系起匀的团伙流场，这而言动态信息调校整体是很重要要的。为维持磁自动隐藏电机定马达定子和转子规和被校质谱计出于差不多的机械泵室体水平，调校整体按对称轴框架制作，甲烷空气植无线运营中心和口限流小眼地属调校室的两人极点，甲烷空气无线运营中心处加有散流部件，磁自动隐藏电机定马达定子和转子规、极高机械泵室体冷规和被校质谱计要装配在与无线运营中心和口连接成的基准面相斜面的指定赤道水平内。

　　这套系统采用两种方法对质谱计进行校准，分别是动态直接测量法和衰减压力的分子流动态进样法。由于此系统采用磁悬浮转子规作为参考标准规，磁悬浮转子规的测量范围是10 ^-1 ～ 10 ^-4 Pa，动态直接测量法是采用校准室所接的磁悬浮转子规(15) 作为参考标准规直接测量分压力，因此动态直接测量法的测量范围是10 ^-1 ～ 10 ^-4 Pa。衰减压力的分子流动态进样法采用上游室上所接的磁悬浮转子规(19) 测量，即关闭超高真空角阀(16) ，调节稳压室的压力，使上游室的压力处于10 ^-1 ～ 10 ^-4 Pa 范围内，而限流小孔(17) 和限

　　流小孔(12) 之间的流导比可以试验得到，选择合适的限流小孔，使它们之间的流导比接近10 ^-3 ，这样就可以利用磁悬浮转子规(19) 的测量值，经过计算得到校准室的压力，衰减压力的分子流动态进样法的校准范围是10 ^-4 ～ 10 ^-6 Pa。所以系统的极限真空度是5 × 10 ^-7 Pa，校准范围是10 ^-1 ～ 10 ^-6 Pa，不确定度小于4. 8%，可以校准1 ～3 种气体成分。