作为残余气体分析器和分压力测量的主要仪器，四极质谱计的使用越来越引起重视，使得质谱计校准技术研究成为真空计量领域的一个热点问题，本文将从最初美国真空学会推荐的四种四极质谱计校准方法开始，讨论研究美国国家标准技术研究院(NIST) 、德国联邦物理研究院(PTB) 、意大利国家计量研究院(IGMC) 、日本国家工业科学技术研究院(AIST) 直到我国的清华大学和兰州空间技术物理研究所在四极质谱计校准技术方面的研究成果，分析这几个实验室方法的优缺点，为国内外同行提供参考。

1、引言

　　随着真空技术的发展，真空系统中气体总压力的测量已经不能满足日常工作需求，而分压力的测量就越来越引起人们的注意。分压力的测量一般是通过质谱计进行测量。为了让质谱计能够准确的输出压力值，就必须对质谱计进行校准。因此需要开展质谱计校准技术的研究。

　　质谱计的较准能力是现阶段真空环境量值溯源学的一两人焦点问题。一样总的来说，质谱计的在测量不判断度依赖性于两人因素分析: 一是是较准历程中应用可以参考准则的更准性和较准整体化的不判断度; 第2是质谱计确定性的稳定性运作。因而质谱计的较准能力研发马上从较准整体化的设计方案，质谱计运作的如何设置等的方面参与。

2、国内外的发展状况

2.1、美国国家标准技术研究院(NIST) 的质谱计校准技术

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2.2、德国联邦物理研究院(PTB) 的质谱计校准技术

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2.3、意大利国家计量研究院(IMGC) 的质谱计校准技术

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2.4、日本国家工业科学技术研究院(AIST) 的分压力测量系统

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2.5、清华大学的质谱计校准系统

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2.6、兰州空间技术物理研究所(LIP) 的质谱计校准系统

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3、结论

　　涉及四极质谱计的效准技木，追踪定位国內外外的四极质谱计效准程序的学习现状分析，是可以来明确，质谱计效准技木的提升前景动向是较早用到的一个实验室气态通过效准，而是效准程序对比容易，效准的超位置对比小; 是由于质谱计不时用到的在混后实验室气态情况中，由一个实验室气态效准使得的不来明确度比较大，倒致提升前景到也可以用到的混后实验室气态通过效准的程序，也提升了质谱计的效准超位置，削减了效准的不来明确度。 　　因为各类上班上境况的不一，造成质问谱计的各类参数表的可靠性强，五金机械度要不一，从而质谱计的校对的方式才有以及的波动，在每天的校对证谱计的步骤采用跟据实际情况的要有取舍不一的校对设施和校对的方式，若要校对但是最佳。根据质谱计愈来愈越广的应用软件，质谱计的校对工艺将有更好的提升，每立角度，主动抑制工艺将传入校对设施，致使质谱计的校对十分便捷。另每立角度，因为五金机械测定工艺的提升，要质谱计就可以时期保证高可靠性强，五金机械度，就质问谱计的校对提供 了就可以实时视频视频校对的要，从而实时视频视频校对工艺大便发黑以后质谱计校对工艺的其中一个提升大走向。以致于，根据企业工艺的提升，设施的上班上具体條件愈来愈越繁琐，在那些具体條件下，质谱计的校对不可能由其他的一直采取操作方法，就提供 了质谱计校对工艺的别的个提升大走向网络校对工艺。我国的那些测试室早已经开使了有关角度的探析。