小孔流导法质谱计校准装置

2009-03-18 李得天 兰州物理研究所

        小孔流导法质谱计校准装置如图3所示。校准压力P可由已知流导C和通过流导C的气体流量的测量值Q计算得到。

 

        这里R为小孔高压和低压端对应的压力P和P1之比, 即R=P/P1, 压力比也可以用小孔的流导和泵的抽速S表示为: R=[1+S/C]。校准装置中的限流孔是一个面积为A 的圆形小孔, 圆形小孔的分子流导可用较小的不确定度来计算, 在一级近似条件下, 圆形小孔的分子流导为

 

       T为其他气休热度(K),M 为其他气休大分子量,A为孔眼总面积(cm2)。流导的精确度高值可表示法为

 

        但其中K不是个修正的指数公式。针对于直经为1cm的簿壁圆圈圆洞,在高温下, 对N2的分子式流导约为9.4 L/s。与上描绘的真接对比法和阻力衰加减法效正配置相信,圆洞流导法效正配置应该都清楚圆洞的流导和预估总流量,所以说对空间结构和操作使用的要求都较高。

小孔流导法校准装置原理图 

1.分压力质谱计　2.校准室　3, 6, 7, 11, 14.隔断阀　4.参考标准规　5.流量标准　8.流量计　9.微调阀　10.气源　12.气体引入系统　13.机械泵　15.热传导规　16.分子泵　17.放气阀

图3　小眼流导法自校平衡装置原里图

其它高清亚洲日韩在线欧美相关的文章：