一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的测试结果

2017-06-13 李凯 钢研纳克检测技术有限公司

　　以四极杆质谱仪真空测量及控制系统应用在钢研纳克检测技术有限公司的PlasmaMS 300 仪器为例。在仪器不同的工作状态时，对接口单元、透镜单元和四极杆单元的真空进行了测量，软件界面如图8 和图9 所示。

一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的测试结果

图8 机械泵待机环境下各不分机械泵表示 　　图8 为实验室设备涡流待机的情况时，电源接口單元、透镜單元和四极杆單元的涡流值体现 。

一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的测试结果

图9 正空就绪工作状态下各个部位分正空界面显示

　　图9 为真空就绪状态时，接口单元、透镜单元和四极杆单元的真空值显示。其中a 部分为仪器工作状态，b 部分为真空系统的真空值。