由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如述如下;

1)极限真空变低，原因：

a.系统中有渗漏；

b.系统太脏；

c.泵油污染；

d.加热功率不够；

e.冷却水不足；

f.过量或过冷的冷却水；

g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；

h.快冷管内有水。

2) 抽气较慢，原因：

a.加热功率低；

b.油量不足；

c.喷帽安装位置不当或受损。

3)进口压力波动，原因：

a.加热器输入功率不当；

b.油脱气；

c.扩散泵进口前面系统有渗漏。

4)工作腔污染大，原因：

a.前级压力高；

b.在高于10^-1Pa压力下长期工作；

c.系统操作有误。

5) 返油率过大，原因：

a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；

b. 加热功率不对；