烘烤为实现超高真空范围 (<10^-8 hPa) 内的压力，必须满足以下条件：

　　抽进口真空箱泵的重力法抽真空箱度该少于所需要的重力法压强的10 倍。 　　真空室室和组件所安全使用的材质务必面对面积最小排气量做出网站优化，与此同时具酌情的表面上清理技能等级。

　　应该使用金属密封件(例如，CF法兰连接或 ISO 法兰标准的 Helicoflex 密封件)。

　　干净的作业是超宽真空泵所就须要，即：那些构件就须要在配置前完全彻底干净的并就须要貔貅的佩戴隔膜真空泵脂毛织手套采取配置。 　　设施设备和高正空泵都要完成烘烤。 　　在无法高温器之后，务必不要并消除液化气泄漏。就此，务必食用氦气检漏仪或四极杆质谱仪。 　　烘烤明显加强解吸率和蔓延率，又很这会会导致透析灌流时光远远还缩短。身为营造生产工艺的后1个步凑，UHV 的主要用途的腔室可在摄氏度自由高达 900 °C 时适用萎缩。未果烘烤温 可以达到300 °C。泵营造商关于 高蒸空泵法兰片至高烘烤摄氏度的说明怎么写大部分将高空作业中的至高摄氏度规定为 120 °C。假若在蒸空机器设备中适用热媒(比如说，电磁干扰能调温)，则不得高出不得的电磁干扰能电机功率。

　　设备在安装完毕后投入运行。在达到 10^-5 hPa 的压力后，开启加热器。在加热过程中，以 10 小时的间隔对真空计进行操作并脱气。如果使用具有适当表面处理等级的不锈钢容器和金属密封件，120°C 的烘烤温度和约 48 小时的加热时间足以达到 10^{- 10} hPa 的压力范围。

　　烘烤应该持续，直至达到预期极限压力的 100 倍。然后关闭泵和真空室的加热器。在冷却后，很可能会实现所需的极限压力。在压力低于 5 · 10^-10 hPa 且内表面积较大时，将有利于使用气体结合泵(钛升华泵)，该泵以高体积流量抽出从金属中逸出的氢气。