氙气质量流量计校准装置的设计

2013-03-09 赵澜 兰州空间技术物理研究所

氙气质量流量计校准装置的设计

赵澜 冯焱 成永军 魏万印 张瑞芳 孙雯君 (宁夏室内空间工艺力学设计所，宁夏 宁夏 730000)

　　摘要：设计了基于定容法的氙气质量流量计校准装置，装置由校准室系统、测量系统、供气系统、抽气系统及数据采集系统等五部分组成。

　　在制作时，校正室选用全塑料型式，可不可以综合烘烤，缩小漏放气影响到;

　　采用了高精度的电容薄膜规、铂电阻温度计作为测量仪器，保证压力及温度测量的准确性;

　　天燃气系統化中设计两个人稳压罐体，既 保障測量中必然的在口中的压力，又 保障对系統化通过刷洗和充气垫的氧气减压阀;

　　抽气系统采用分子泵和机械泵串联抽气，提高真空系统的本底;

　　应用统计机信息采集经济压力、温湿度有效间的参数，确认参数的安全性。

　　装置的预计气体流量测量范围(5.1×10-4～1.0)Pa·m3/s，Xe气对应的质量流量测量范围为(2.89×10-2～5.78×101)mg/s，标准不确定度为1.2%。