真空规原位校准装置的不确定度分量的分析评估

2009-04-07 李正海 兰州物理研究所

       机械泵规原位标定安装的不决定度特征重要在以内两个的方面。 1、校正室设计方案带来的不确认度

       校准室设计完全符合ISO 的有关真空标准的规定,克服了气体分子的束流效应,而且校准室是一个完整的球形容器,最有利于建立起均匀的、各向同性的分子流场。根据蒙特卡洛模拟计算,对于球形容器,在高真空状态下赤道附近分子密度的不均匀性小于0.13%。校准室的容积满足被校规总体积的20 倍的要求,所以校准热阴极电离规时吸放气的影响可以忽略。

2、本底心理压力引发的不设定度

       校准室内本底压力对被校规的影响,主要是容器内残余气体成分和容器壁的吸放气造成的。选择分子泵抽气,经烘烤后残余气体成分主要为H2,实际校准时都采用N2 作为校准气体,而且要求本底压力低于最小被校压力的2 个数量级,这样本底压力造成的不确定度分量小于2%。

3、校对室中学习压力冲击引起的不判别度        在校正区域内,用对比准则规衡量校正室中3 min 的气压上下波动,利用调查赢得的结局明显为1%。

4、电离规之间的相互影响造成的不确定度

       当同时校准几支电离规时,一支规管的开关会对其他规管的读数造成影响,而现场校准室容器较大,一般都是单支校准,这种影响造成的不确定度可以忽略。

5、 规管使用座位引发的不确认度        组装在校对室上和软件测试整体的被校规没能长期处在同一条赤道正等轴测图上,因为被校对规和参考规格规直接留存一些的压为等度,用实验所得到了的的结果为1%。 6、主规范器的不选定度        主条件器第一年要在头等条件部件努力上进行校对,因为它的不确保度应由头等条件的不确保度、加之随机函数校对的不确保度信噪比结合,通常情况下高于1.5%左右侧。 7、任务现象的环境应响的不肯定度        鉴于运作现象生态氛围要求不可以保持,没能将生态氛围室温恒温器在23 ℃附过,般会造成少于3.5%的损害。        只能根据大于分析一下风险评估,该安装的转化成不来来选择度高于5%,加密不来来选择度高于10%(k=2),符合规格国度二等真空度规格不来来选择度高于10%的规范要求,就可以开展调研量值的校正岗位。