真空规原位置校准装置，装置图具体请见真空规原位置校准原理和装置 ，根据不同的校准范围采用不同的校准方法，一般分为动态直接比对法、静态直接比对法和压力衰减法3 种方法，校准范围为10+5～10-4Pa，合成不确定度小于5％。

1、 空态会检测法

       当校准室中的本底压力满足被校压力的要求时，关闭超高真空插板阀，通过调节微调阀向校准室内充入所需的校准压力，用电容规10（133kPa）作参考标准和被校真空计同时测量校准室内的压力，直接进行比对校准。这种方法适用于102～105 Pa 压力范围各类真空计的校准。

2、动态信息会对比分析法         在10-1～102 Pa 的经济水压条件内，启用超宽机械泵体阻断阀13，浏览器打开超宽机械泵体阻断阀11，调控细调阀向自校房间内充想要的自校经济水压，供电容规14（133 Pa）作借鉴要求和被校机械泵体计也在线测量自校房间的经济水压随便开展对比自校。 3、压为衰除法

         由于在10-4～10-1Pa范围的压力，已经超出电容规（133Pa）的压力范围，如果仍用电容规作为主标准器，需采用压力衰减法才能满足要求。因为在10-4～10-1Pa的压力范围，气体分子处在分子流状态下，限流小孔8与12 的流导比仅仅是几何尺寸的函数，而且与气体的成分无关。只要计算出流导比就可准确计算出校准压力。利用压力衰减法省略了该范围内的磁悬浮转子规或副标准电离真空计。具体工作过程是关闭超高真空隔断阀，打开超高真空隔断阀13，调节微调阀，使上游室中的压力处于10-1～10 Pa 范围内，用电容规14（133Pa）测量上游室中的压力，并经过计算得到校准室中的压力。

       若品牌进入校园市场室中的学习压为p1，限流小眼12 的团伙流导为C1，限流小眼8 的团伙流导为C2，当甲烷气体提升平稳后，进行校正室中的学习压p2 为

        在分子结构流状况下，C1/C2为常数，唯有是以所有的本身的气体精确检验C1/C2，就能否合理利用式（1）来计算调校室中的经济心理重压p2。由式（1）而定，从不差别估测小圆孔流导C1 和C2 的值，唯有是精确估测p2 和p1 经济心理重压值，就行认定流导比C1/C2的值。根据考虑限流小圆孔的强弱，使C1/C2的值约为10-3。成为游室中的经济心理重压在10-1～10 Pa 面积内时，调校室中的经济心理重压在10-4～10-2 Pa 面积内。