基于PLC的PECVD温度控制系统设计

游锦山 陈长琦 汪根生 林 胜 (三门峡工业生产大专 三门峡 230009)

　　摘要： PECVD 温度控制系统的精确性和稳定性对获得结构稳定和性能优良的半导体薄膜材料非常重要。本文基于西门子S7-300 可编程控制器(PLC)为控制核心，搭配触摸屏为人机交换界面(HMI)，论述了PECVD 温度控制系统的设计。PLC 与HMI 基于MPI协议实现通信功能，采用WinCC flexible 组态友好的控制界面，完成数据输入/输出、参数修改、实时监控和报警联锁。

　　以STEP 7 为软件程序制作APP，在定时实行断开组织安排引擎(OB35)中嵌套循环跳转原则规范溫度因素作用块(FB58)程序语言达成对溫度因素的PID 反馈操作操作,扩充PLC 仿真量复制粘贴引擎SM331 对热电容原则规范仿真信息达成A/D 转化，结合起来FB58 智能家居的控制的脉宽调配输送作用，将PID 运算結果转化成激光脉冲占空比操作nvme固态继机械实行加水瑜伽动作。 　　该系統的增进了PECVD 环境温度表调控的自己化层次，并可行变短调控回路开关的调控时段，变小超调量，抓实了环境温度表的较准调控和系統的的可靠执行。 　　关键点字：PECVD PLC HMI 体温掌握