等离子体加强化学气相沉积法(PECVD)制备石墨薄膜

施晨燕 赵 宁 赵志伟 雷 威 东西南一本大学自动化科学性与市政工程院校显现技木中心站

　　摘要：石墨是元素碳的一种同素异形体，由于其特殊结构具有耐高温性，高导电导热性，润滑性，可塑性等特殊性质。石墨是典型的层状结构，当石墨薄膜的层数少于10 层时，就会表现出较普通三维石墨不同的电子结构。这种石墨薄膜由于其特殊的电学、热学、力学等性质在纳米电子器件、储能材料、光电材料等方面均有潜在应用。等离子增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD )是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

　　本结题使用PECVD 策略在铜箔上堆积出石墨胶片和珍珠棉。运用于光学元件光学显微镜，Raman 光谱仪，SEM 等手法对胶片和珍珠棉微观粒子节构及成份参与了定量分析。调查但是呈现，PECVD 策略在必然的具体条件下就能够得出接连的乳白色石墨胶片和珍珠棉。本调查所采用板材厚度为25 um 的铜箔衬底，发芽的设备为南京金盛微纳有限公司生产制造的PECVD-801 系統。 　　本职工作前选用10%的稀酸洗冲洗除去阳极氧化层，在用二甲苯和香蕉水高周波15min 以除去油迹，还有去化合物水清洗干净，烘干处理后进入响应室。响应实验室气体热度为二氧化氮20 ml/min(标淮的状态下),氯气20 ml/min,氩气80 ml/min,本职工作标准气压为120 Pa,高温为800oC，rf射频电功率为200 W,准确时间为1800 s。第二步充分利用光纤激光切割机的显微镜观察，Raman光谱定量分析，SEM 等手法对塑料膜微观经济结构的及有效成分来进行了定量分析。