研究了工作气压对磁控溅射法制备CIGS 薄膜的影响，采用X 射线衍射，扫描电镜，X 射线萤光光谱和X 射线能量色散谱分析了膜层的组织和成分。研究发现，工作气压升高，薄膜沉积速率降低。当工作气压低于0.2 Pa 时，薄膜致密均一;高于0.2 Pa 表面出现Cu2- x Se 相，并随气压升高在膜表面的覆盖面积增大。对气压影响薄膜表面形貌的机理采用成膜动力学理论进行了讨论。

　　铜铟镓硒(CIGS) 是一种P 型直接带隙半导体材料，具有高达6×10⁵ cm^-1的光吸收系数，仅需微米级的厚度便可吸收99%的太阳光，是第三代太阳能电池的主要材料。CIGS的制备方法有很多，如溅射后硒化法，共蒸发法，合金靶磁控溅射法等。磁控溅射具有沉积速度高、膜层致密、附着性好、大面积均匀性好等特点，可制备高质量的薄膜。国际上已开展采用合金靶一步磁控溅射法制备CIGS薄膜的研究，但制备工艺对CIGS 薄膜的影响尚不明确，需要进一步深入研究。

　　为刷快优线质量的pet胶片和珍珠棉，应该对溅射工序功能指标如:溅射公率，操作压力表，靶基相距等做出控制。很多很多过程组细节研发了溅射公率对pet胶片和珍珠棉的应响: 选择单靶磁控溅射制取CIGS锂容量电池时，增多溅射公率能加快锂容量电池的转换效应; 溅射公率为显著应响CIGSpet胶片和珍珠棉的阻止、成份和功能，溅射公率增多形成积聚的CIGSpet胶片和珍珠棉的Cu含锌量避免，In 含锌量增多。溅射压力表应响有毒气体团伙的平均的只有程，反应积聚水粒子的卡路里，于是应响pet胶片和珍珠棉的析出与功能。殊不知操作压力表对CIGSpet胶片和珍珠棉的应响媒体报道不多，显然S. Rampino所述了在常温积聚的pet胶片和珍珠棉还可以阐述pet胶片和珍珠棉的发展差向异构，这样本诗选择在常温磁控溅射策略，在一系类其他Ar压力表下制取了CIGSpet胶片和珍珠棉，研发了pet胶片和珍珠棉的阻止，成份和外表形貌。 　　报告的格式 　　对各种具体条件化学合成的CIGS膜和珍珠棉组织化含量深入分析呈现，作业大大大气压力表对溅射发育膜和珍珠棉影向同质性，特别的是膜和珍珠棉的从外表形貌。当作业大大大气压力表低过0.2 Pa 时，膜和珍珠棉高密度均一。作业大大大气压力表上升，生成沉积传输速率较低，并促进会Cu-Se岛区发育，0.5 Pa 时，金属材质晶粒的尺寸不大，接下来在从外表生成Cu2- xSe 相，受损膜和珍珠棉的均一性。其的原因是随着作业大大大气压力表上升，入射电子层的一般能量是什么较低，膜和珍珠棉成果下降，且从外表知识的速度信噪比新增，生成岛状发育构成,既定Cu2- xSe团簇包括在从外表。 　　原文保存：