扩散泵抽气系统主要由扩散泵、冷阱、和机械泵等的结合组成。下图为一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图。图中还给出了一些辅助元件，但是并不是每套真空系统都需要有这些辅助件。如在返油率要求不高的真空系统中，就不需要配置液氮冷阱，只需要用一个水冷障板就可以。而在对返油率要求很严的应用中，则需要在系统中配置一个，还可能再用一个局部水冷障板，液氮冷阱主要用于捕集水蒸气和泵工作液中的轻馏分返流。一台泵口径为150mm扩散泵机组在入口处对空气的净抽速约为1000L/s，而所配的液氮冷阱对水蒸气的抽速则可高达4000L/s。设计制造良好的扩散泵系统，可以把真空室内来自泵工作液的返油率降到很低的水平，甚至可以小于来自其它来源的有机物。

1.扩散泵 2.水冷障板 3.液氮阱 4.高真空阀 5.真空室放气阀 6.热传导规 7.电离规 8.粗抽阀 9.粗抽管道阱 10.机械泵1 1.前级阀 12.前级热传导规 13.检漏仪连接口

蔓延泵程序 　　在较小的负压模式中，可以的使用几台机装备泵，交叠应用在粗抽负压室和当做扩撒转移泵的前级泵。粗抽时，在隔断墙的前级排水管中的压强值将长高，若果粗抽事件在15min左右，这些压强值的变高一般 是否突出的。关于大型的负压模式，列如 400mm规格或更重规格的扩撒转移泵抽气模式，负压室的粗抽恰恰主要采用几台以机装备泵为前级泵的罗茨泵汽轮发电机。在粗抽时候中，可另用几台较小的维系泵当做扩撒转移泵的前级泵。在负压室抽得高负压（符合扩撒转移泵平台入口工作上压强值后） 时再把罗茨泵修改至扩撒转移泵的前级，以切实保障抽气模式享有更大的排气口量。 　　主要用于操纵和错误码保护性的热开始规主要装在正空室和前级管材上，电离规装在正空室上，也可装在紧贴正空室的抽胸闷管上，配套电离规装在冷阱和高正空主阀中。日前常见正空系统性在该处不会如何配置配套电离规，但种规突然是很有必要的，还可对对外蔓延转移泵开始最可直接的原因自动检测，即自动检测对外蔓延转移泵的变压器空载工作压力，而种自动检测必须用装在主阀（高正空阀）右上角的规管开始。大中型冷阱常见都应具有另一个电离规usb接口协议，为了更好地不方便电离规管的组装程序，也还可在高正空阀靠对外蔓延转移泵那端如何配置预备的规管usb接口协议。在设计和组装程序高正空阀时，最适于是使阀里面部持续保持稳定保持稳定在正高空，这还可变少某一进行生长期暴漏在下垫面中的面积和表明积，然而缩小抽气日子。在规管组装程序时，拥有电离规和热开始规的规管通道口都应朝下或方位适于的一边，为防掉进粒状及损害自动检测精确度。

　　上中所给出的一些附件在标准系统中往往是不必要的。位于前级管道上的检漏接口为真空室、阱和扩散泵等的检漏提供了方便，利用这个接口可以在系统工作时把检漏仪接到系统上，使检漏得到最高的灵敏度和最快的响应速度。可在扩散泵冷却水管入口一侧安装节流阀，这样可以节约用水，并可提高喷射级的油温。在返油率要求较高的扩散泵抽气系统中常采用粗抽管道阱，如维护得当，粗抽阱能减少机械泵油向真空室的迁移。

涉及篇文章看：

扩散泵抽气系统的组成

扩散泵真空抽气系统的操作步骤

扩散泵真空抽气系统操作存在问题分析