德国的PTB 研制出了基于中红外激光吸收光谱法的分压力校准系统，利用气体分子发出的光谱强度来测量混合气体分压力的大小，质谱计校准系统工作原理如图4 所示。

图4 欧洲德国PTB 搭建的质谱计效正体系机理图

　　1.激光控制器　2.单色器　3.出光装置　4.斩波器　5.HERRIOTT 腔　6.干涉仪距离测量装置　7.镜片移动装置　8.粗抽机械泵　9.涡轮分子泵　10.隔断阀　11.一氧化碳气瓶　12.氮气气瓶　13.溅射离子泵　14.电容薄膜规　15.磁悬浮转子规　16.电离规　17.四极质谱计　18.温度计　19.光敏感器　20.工控机

　　这套设计的校对的方式方法是，由机光设计发生的机光能够 滤波器和三组漫菲涅尔透镜入驻校对室，机光和校对室中的融合气味氧碳原子完美用途，导出打搅光谱图，再从校对室中导入到个人信息受到与处置设计，在校对室中总负担已经知道的生活条件下，便可不可以能够 计算公式的融合融合气味中各融合气味基本部分的分负担。类似这些的方式方法的优缺点重在检测的方法方式中 中也不会发生格外的沉淀物氧碳原子，而尽量避免了检测的方法方式中 中发生沉淀物对以往残留融合气味基本部分检测的方法的关系，体现了无干忧的作用，是和于表面粗糙度符合要求比效高，甚至残留融合气味基本部分已经知道状态下的分负担检测的方法。

　　这套质谱计校准装置的测量范围相当大，真空度从10³ ～ 10^-5 Pa 都可以准确的测量，不确定度约3%。但缺点也是很明显，第一这套系统只能测量一些已知光谱的气体分压力，比如一氧化碳、二氧化碳和水，对于其他的气体则无法测量。第二在气体和激光相互作用的校准室的两个反射球面很难制造。第三两个镜片之间的距离要求很高，设计难度较大。第四实验场所的要求高，实验场所不能有震动。第五在进行分压力测量时要受到总压力大小的影响。