详细介绍了为积极开展漏孔考试、氘-氦辩认特性及涡流检漏技术应用等有关调查探究而使用的四极质谱得了解与考试整体的科研，表述了涡流室形式、抽气装置的电机选型、考试实验室设备的做及把控保养子整体操作具体方法。对整体使用了其中包括重力涡流、的残留物气味质谱了解、漏放气率、质谱计特性等考试，結果意味着本整体完成了的设计标准。

　　国际热核聚变实验堆(ITER)是目前国际核聚变研究领域正在规划建造的托卡马克装置。它拥有全球最大、最复杂的高真空系统，其体积达到了4600m3，并且在建成后将进行氘氚核聚变反应研究。由于真空检漏所使用的示踪气体氦与氘、氚的质量数十分接近，检漏系统的灵敏度将受到真空室器壁所释放氢同位素的严重干扰，通用的氦质谱真空检漏方法难以完全满足ITER 以及未来聚变堆的实验运行需要。ITER 的真空检漏系统采用了具有分辨氦和氢同位素能力的高分辨质谱分析检漏技术，并通过设计压缩采样抽气系统实现对氢同位素氘的抑制。因此，建立一套四极质谱分析与测量系统，开展漏孔检测，氘、氦分辨性能及真空检漏技术等相关实验研究，对掌握高分辨质谱分析检漏技术和工艺，提高我国大型托卡马克乃至未来聚变堆的工程设计和制造能力有着重要的意义。

2、四极质谱分析与测量系统

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3、气体分析系统性能测试实验

　　//crazyaunt.cn/vacuum-measure/mass-spectrum/042952.html

4、结论

　　用四极质谱分折与测量方法装置性安全耐腐蚀性實驗，取得了装置性超凡抽抽进口真空为7.3×10-7Pa，抽抽进口真空室24h 漏放气率有9.4×10-9Pa·m3·s-1，为展开漏孔加测，氘、氦签别安全耐腐蚀性及抽抽进口真空检漏技术设备等对应科学研究出示了比较好的實驗app。用3 种固体对四极质谱计展开了灵巧度、波形、效率精确度、分辩能力素质安全耐腐蚀性测式，用对测式统计数据分折，选用EXTORR XT100 型质谱计都可以够满足装置性残渣固体分折的规范。

参考文献：

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　　[2] 王晓冬, 巴德纯, 张世伟, 等. 真空技术 [M]. 北京:冶金工业出版社, 2006.
　　[3] Frattolillo A, Ninno AD. A powerful tool to quantitatively detect tiny amounts of 4He in a deuterium rich background for fusion research [A]. 　　Proceedings of the 22nd IEEE Symposium on Fusion Engineering [C]. 234 核聚变与等离子体物理 第32 卷Albuquerque, NM, 2007.
　　[4] Hiroki S, Ladd P, Shaubel K, et al. Leak detection system in ITER [J]. Fusion Engineering and Design, 1999, 46: 11–26.
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