真空漏孔的校准方法——变容变压法

2009-07-09 孟 扬 兰州物理研究所

  美国Martin Marietta Energy System公司避开定容变压法和恒压变容法的技术难点,采用变容变压的方法,对10-1~10-12mol/s范围内的真空漏孔进行测量,自称测量误差为±5%。

  图4示出变容变压法结构示意图,图5给出它的测量过程中的压力变化曲线图。测量前,校准室(V和Vu,)抽真空;开始测量时,关闭阀门Y1和Y2;在t1时刻,Vu内压力上升至P1,可由式(6)得到。关闭阀门Y3,打开阀门Y2;如果等待Vu内压力再次恢复至P1(t3时刻),则为增加固定体积的恒压变容法。在此,可以在t2时刻就测量Vu内压力P2的值,可由式(7)得到。真空漏孔的漏率由式(6),(7)联立,可以得到式(8)

QL =p1Vu/(RT t1)  (6)

QL =P2(Vu+V)/(R T t2) (7)

QL =P1P2V/[RT(p1t2-P2t1)]  (8)

  这都不很精确性的,然而使用率较高的实用性强方式方法。用它较准机械泵漏孔时,不都要准确的自动在测量较难自动在测量的Vu,也是都要稍候较长的时,然而式(6)和式(7)几乎都是在无吸、放气反应的比较好條件下得了到的,故事实上广泛应用时对吸放气的反应都要严肃认真研发解决方法。

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