真空漏孔的校准方法——定容变压法

2009-07-09 孟 扬 兰州物理研究所

　　将从机械泵漏孔流下来的气休引人到一封信闭器皿设计中，在室温、质量分数平稳一致的时候下，机械泵漏孔的漏率会依据精确测量器皿设计中气休有压力的发展率△p/△t，质量分数V，室温T而实现


QL =( V/ RT ) (△p/△t)　 (4)


　　如果在测量过程中，容器中气体温度变化△T,△p,△t,V 和T的测量误差分别为δ(△p),δ(△t),δV,和δ△T，则真空漏孔的漏率测量误差δQL为

　　式中P为测定流程中玻璃容器内气休经济压力的平标准差;q是进行校正窒内表皮的吸放气率。

　　在这种方法中，校准室的容积必须准确测量。由于每一支被校准的真空漏孔封接到校准室上后，它对校准室的容积的贡献都不一样，即使进行修正，也会带来一定的误差。因此，校准室的容积不能太小，一般需大于2×10-3 m3 。

　　较准办公室表面能的吸放气功能对漏率的检测损害很高，正是因为吸放气是任何时候间而變化的，以至于哪怕对本底使用能够完善，也照样有不大的精度。于是具体情况检测前需求够长的时间段使其起到稳定。都要注意事项检测时不能够使干净的器皿内的压太高，立即优化正空漏孔的漏率。

　　定容变压法适于测量漏率较大的漏孔。美国真空学会曾经在1968年将这种方法定为5×10-10～5 × 10- 8 mol/s范围内的真空漏孔校准的美国真空学会标准。

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